メイユウ産業株式会社

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窒化アルミヒーター 用途 　高密度LSI 実装のThrough Via Hole 工法を実現するパルスヒート型セラミックヒーターを設計製作します。 特徴 �@　最高使用温度 400℃ �A　高速昇温　Rt〜300℃　1sec　で加熱可能。 �B　高速冷却　400℃〜100℃　2.5sec　で温度降下。（Open排気） �C　低熱膨張　常温平坦度　0.3μm〜250℃時　0.6μm以内 �D　高均熱性　接合面内　　目標温度±2%以内 �E　長寿命　　構成部品の熱膨張係数がほぼ同一（熱膨張収縮による疲労、破断がない �F　省電力　　12□ヒーターで500wの消費電力。他社製品の半分で同等性能を発揮します。 温度プロファイルグラフ(12mm□）ヒーターの昇温、冷却能力　先端ツールなし/　温度分布 12mm□ヒーター 16ｍｍ□ヒーター 　物　質　名 　記　号　 熱伝導率　　 熱膨張係数 硬　　度　 　圧縮強度 窒化ｱﾙﾐﾆｳﾑ AlN 180w.m.k 4.5x10-6/mm/℃ Hv1500 35kg/mm2 　注：上記は代表的なサンプルを測定したもので、保証値ではありません。 MCヒーターカタログに戻る